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　　制冷快報訊：當氨制冷系統完成試壓查漏等試驗工作，還應進一步檢查制冷系統和設備的嚴密性，并為充制冷劑做好準備、而進行抽真空試驗。在系統抽真空時，還可將系統內殘存的水分汽化后排出�！　≌婵赵囼灴梢圆捎孟到y本身的氨壓縮機和另備真空泵的方法。　�。�1）利用氨壓縮機抽真空試驗：首先應打開系統上所有的閥，關…

前言：某微電子工程真空系統如圖1 所示，其中2 臺真空泵為雙級旋片真空泵(型號：2XZ4)，工作時一用一備。真空閥為電磁真空帶充氣閥，管路材質及球閥材質均為UPVC。真空罐容積為1 m3。系統工作真空度設置在絕對氣壓15 Torr~50 Tor r(2000 Pa~6650 Pa 之間)。當…

渦旋式無油機械真空泵是從渦旋式壓縮機演變而來的一種新型的干式機械真空泵。渦旋式無油機械真空泵的工作原理。構成渦旋式真空泵抽氣用渦旋體的曲線為漸開線。固定的渦旋體稱定子，轉動的渦旋體稱轉子。轉子無自轉而以一定的回轉半徑平動公轉。隨著轉子的平動公轉，在兩個渦旋體之間形成了吸氣腔和壓…

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